在半导体行业，洁净度真的不能有半点妥协。哪怕是一粒微尘、几滴金属离子，或者一点有机残留，都会影响晶圆的加工、材料测试，甚至微纳结构实验。所以，实验台必须完全符合洁净室标准——得少颗粒，容易清洁，还要耐腐蚀，不能有任何析出物。
说到实验台台面，常见的材料有不锈钢、环氧树脂和抗静电树脂。不锈钢没毛孔，不掉屑，还抗腐蚀，非常适合高等级洁净区。环氧树脂适合做微化学处理区，表面稳定，耐各种化学品。抗静电树脂能防止静电吸附颗粒，对仪器操作区特别重要。
洁净区的实验台结构要无缝，边角全部做成圆角，别给颗粒留藏身之地。台面表面必须平滑、均匀，不能有裂纹、粗糙点，更不能有涂层脱落。
清洁流程得一丝不苟。先清理颗粒，然后用酒精或专门的清洁剂擦拭，接着用无纤维布擦干，最后定期进行紫外消毒。整个过程绝不能用掉屑的抹布或含油的清洁剂，免得把工艺搞砸。
另外，实验室还要定期做洁净度检测，比如表面采样、静电测试等等，确保实验台面始终达标。这些细节，真不能有任何松懈。
